Article paru dans SALLES PROPRES n°130
NextOPC, un capteur innovant à intégrer pour la surveillance
Afin de répondre aux nouvelles exigences en termes de surveillance en continu des salles propres, la société Tera Sensor a mis au point un capteur de particules de petites dimensions, facile à intégrer et se distinguant par des performances et spécifités techniques innovantes. Deux équipementiers ont déjà conçu des produits faisant appel à ce composant, affichant de bons résultats lors des tests de qualification.
